更新時間:2025-07-24

| 產地 | 進口 | 加工定制 | 是 | 
|---|---|---|---|
| 質保 | 1年 | 
日本科賦樂金屬密封質量流量計
5410系列質量流量計-金屬密封
金屬密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
適用于高真空、半導體、劇毒、強腐蝕氣體環境下
±15VDC供電性能穩定,0-5V模擬信號更加通用
日本科賦樂金屬密封質量流量計
性能參數:
| 量程(N2) | 10SCCM-20SLPM(另外50SLM | 
| 精度 | ±1.0%FS | 
| 重復性 | ±0.2%FS | 
| 響應時間 | 1秒以內 | 
| 耐壓 | 1.0Mpa | 
| 進口大壓力 | O.5Mpa | 
| 泄漏率 | 1*10-11pa·m³/s以下 | 
| 溫度范圍 | 5-45℃ | 
| 濕度范圍 | 10-90%RH(不能結露) | 
| 材質 | 本體SUS316L | 
| 密封圈SUS316L、PTFE | |
| 電氣接口 | DB9 | 
| 模擬信號 | 0-5V輸出 | 
| 供電 | +15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)100mA; | 
| 管路連接 | 標配1/4UJR | 
| 選配1/8UJR | |
| 重量 | 約800g | 
電器連接:
| 針腳/顏色 | 定義 | 
| 1針腳/棕色 | 空 | 
| 2針腳/白色 | 0-5V輸出 | 
| 3針腳/紅色 | +15VDC | 
| 4針腳/黑色 | 電源COM | 
| 5針腳/黃色 | -15VDC | 
| 6針腳/灰色 | 空 | 
| 7針腳/綠色 | 輸出COM | 
| 8針腳/蘭色 | 空 | 
| 9針腳/紫色 | 空 | 
★使用注意
一:進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用,保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米》。
二:用肥皂水對管路進行泄漏檢測時,只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能噴在儀表或電氣插頭上。
三:安裝前,請將設備管路進行整體吹掃。
四:耐壓1.0Mpa,進口大壓力5公斤。
五:需要進行零點漂移清零的時候,確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作。